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SONIC超聲波微液體流量計μLF-300S
用于IPA、純水、藥液等半導(dǎo)體制造工序中微小區(qū)域的流量控制
測量1ml/min以上的微小流量利用數(shù)字信號處理高精度測量微小流量
-傳感器部的結(jié)構(gòu)不與流體接觸范圍廣
μLF-300S
| 模型 | μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸） |
| 測量原理 | 超聲波傳播時間差法 |
| 待測液體 | 純水、水溶液、各種化學(xué)溶液 * 使用水以外的液體時，請事先確認(rèn)。 |
| 適用流體溫度范圍 | 15℃～80℃ *60℃以上使用請?zhí)崆按_認(rèn) |
| 流體壓力 | 0.5MPa以下 |
| 流體運(yùn)動粘度 | 100mm^2/秒或更小 |
| 流量范圍 | 0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) |
| 測量精度 | ±0.5%RD（1/8英寸：200～1000ml/min 條件：室溫、恒溫水） ±1ml/min（1/8英寸：0～199ml/min） ±0.5%RD（1/4英寸： 0～199ml/min） 800～4000ml/min 條件：室溫、恒溫水） ±4ml/min（1/4英寸：0～799ml/min） |
| 重復(fù)性 | ±0.2%（純品，液溫±0.5℃，30秒平均值） |
| 電源 | 直流24V±10% |
| 功耗 | 3.6W以下 |
| 重量 | 轉(zhuǎn)換器240g，檢測器70g |
| 尺寸 寬x高x深(毫米) | 轉(zhuǎn)換器 97 x 49 x 127 檢測器 90 x 25 x 20（不含管） |
| 檢測部分 | |
| 管材 | PFA（氟樹脂） |
| 管徑 | 1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米 |
| 結(jié)構(gòu) | 相當(dāng)于IP65 |
| 附帶電纜 | 5m，連接器連接 |
| 輸入部分 | |
| 數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422、4 線 RS-485 |
| 模擬輸出 | 4-20mA（瞬時流量），負(fù)載電阻500Ω以下 |
| 集成脈沖輸出 | 1ch（集電極開路） |
| 報警輸出 | 1ch（集電極開路） |
| 接點輸入 | 1ch（零流量設(shè)置或積分清除） |
| 按鍵輸入 | 4個輸入按鈕 |