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ULVAC日本愛發科排氣單元VTS-350M/X

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ULVAC愛發科、排氣單元

ULVAC 愛發科創立于 1952 年的日本,由一群懷揣著 “利用真空技術為制造業和科學做貢獻” 夢想的年輕技術人員,在六位商界天使投資人的支持下創建。發展至今,已成為極具影響力的綜合企業集團。

作為研究開發型企業,ULVAC 愛發科以獨創的真空技術為核心競爭力,持續投入大量資源進行技術研發與創新。集團業務廣泛,涵蓋多個重要領域,尤其在半導體超微細化技術方面不斷突破,助力電子新技術和產品的持續更新,推動社會進步。在能源、環保、運輸、醫藥、食品、化工、生物工程等廣闊行業,ULVAC 愛發科憑借先進的真空技術產品,提供全方位的技術支持與解決方案。

在產品方面,ULVAC 愛發科的規格品事業部成果豐碩。其開發、制造并銷售多種多樣與真空技術相關的產品,包括用于 “創造真空” 的真空泵、閥門、配管部件;用于 “看見真空” 的真空計、工藝氣體監控器、檢漏儀等測量儀器;在成膜工藝中用于 “制膜” 的成膜用電源;用于 “觀察膜” 的橢偏儀;用于 “搬送晶圓” 的真空搬送機械手等。這些產品不僅是構成真空設備的關鍵組件,更是支撐汽車、家電、材料工程、醫療醫藥、生物技術等眾多產業發展的核心技術。

ULVAC 愛發科還在真空配套產品開發上不遺余力,為各種產業領域提供磁控濺射靶材等高規格電子材料,滿足不同行業對于高性能材料的嚴苛需求。在平板顯示、集成電路等高端制造業,ULVAC 愛發科充分發揮集團優勢,提供優質的設備、材料、真空配套產品及服務。其全資子公司愛發科電子材料(蘇州)有限公司,立足本土,致力于為中國客戶提供高品質、低成本的材料,推動中國高端制造業的進步。公司產品豐富多樣,涵蓋高純度 Cu、Al、Mo、Ti 及其相關合金材料、蒸發材料等,滿足液晶、OLED、半導體等產品的鍍膜材料需求。通過高標準品質管理和優秀技術團隊的支撐,產品質量達到業界先進水平,并憑借與集團內設備部門的協同合作,為客戶提供鍍膜設備、工藝優化、鍍膜材料、維護保養等一站式解決方案。

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低溫泵

CRYO-U6H

CRYO-U8H-U

CRYO-U8H

CRYO-U8HL

CRYO-U10H

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CRYO-U22H

C10

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超級冷阱

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渦輪分子泵

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濺射離子泵

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油擴散泵

PFL-22

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PFL-36

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ULK-04A

ULK-06A

ULK-10A

ULK-14A

BW-02

BW-04B

BW-06B

BW-10

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BW-36

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排氣單元

VPC-051

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