測(cè)量范圍：X 軸 600mm、Y 軸 500mm、Z 軸 280mm。
精度指標(biāo)：使用 TP7M 測(cè)針（?4×20mm）時(shí)，19 至 21℃環(huán)境下，最大允許長(zhǎng)度測(cè)量誤差 MPEE 為 (2.5+3.5L/1000)μm；5 至 40℃時(shí)，MPEE 為 (3.9+6.5L/1000)μm，其中 L 代表測(cè)量長(zhǎng)度，單位為 mm。
分辨力：0.1μm。
驅(qū)動(dòng)性能：各軸移動(dòng)速度為 8 至 700mm/s，最大合成驅(qū)動(dòng)速度達(dá) 1212mm/s；各軸最大驅(qū)動(dòng)加速度 6860mm/s2，最大合成加速度 11882mm/s2；接觸測(cè)量瞬時(shí)速度是 30mm/s。
工件承載能力：最大承載質(zhì)量通常為 20kg，通過(guò)配置特殊選件能擴(kuò)展測(cè)量更大質(zhì)量的工件。
此外，它還有如下顯著特點(diǎn)：
節(jié)省空間：設(shè)備內(nèi)置三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)控制裝置及計(jì)量檢測(cè)專用電腦，相比常規(guī)配置占地面積可減少 37%，臥式結(jié)構(gòu)也便于其安置在加工機(jī)之間，可使用與加工機(jī)相同的工件輸送路徑。
耐用可靠：設(shè)計(jì)以支持 24 小時(shí)運(yùn)行為前提，具備較高的耐久性。其采用無(wú)氣源設(shè)計(jì)，能規(guī)避因氣源系統(tǒng)故障帶來(lái)的停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)，減少故障發(fā)生，MTBF（平均無(wú)故障時(shí)間）表現(xiàn)更優(yōu)。
寬溫穩(wěn)定：可在 5 至 40℃的寬泛溫度環(huán)境中保證測(cè)量精度，且支持實(shí)時(shí)溫度補(bǔ)償與溫度補(bǔ)償原點(diǎn)設(shè)定，可應(yīng)對(duì)測(cè)量環(huán)境或工件的變溫情況，適合生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的復(fù)雜環(huán)境。
維護(hù)便捷：配備自診斷系統(tǒng)，約可預(yù)測(cè) 92% 的機(jī)械故障，并支持遠(yuǎn)程校準(zhǔn)服務(wù)，能降低約 45% 的年維護(hù)成本。其運(yùn)用模塊化設(shè)計(jì)，關(guān)鍵部件的更換耗時(shí)可控制在 15 分鐘以內(nèi)。
