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日本USHIO牛尾 分割投影光刻機(jī)UX-5系列 UX-5781SC

貨號(hào): #UX-5781SC

庫(kù)存: 100

日本USHIO牛尾、電子原件、半導(dǎo)體、液晶顯示屏

規(guī)格選項(xiàng):

日本USHIO牛尾 分割投影光刻機(jī)UX-5系列 UX-5781SC

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產(chǎn)品特征:

機(jī)械手平臺(tái)可移動(dòng)土50 mm,便于對(duì)齊

在可移動(dòng)的部件上設(shè)置傳感器,防止誤操作·更輕量化的設(shè)計(jì) ※與本公司的MA-10比較·防止面置掉落的抽板淡根據(jù)面置玻璃規(guī)格制造適配不規(guī)則尺寸的基板*根據(jù)基板樣式真空吸附

搭載真空系統(tǒng),減少屏幕的歪斜特別設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng),提高配合度采用平行光系統(tǒng),提高寸法精準(zhǔn)度控制熱量對(duì)于屏幕的影響,采用排熱設(shè)計(jì)搭載高精度的積算光量計(jì),提高反復(fù)曝光的安定化通過獨(dú)自的真空系統(tǒng),小體型也可以完成大尺寸的曝光

規(guī)格:

燒印有效尺寸 1.190*850mmMax尺寸 1.000*1,000mm中心初期照度 6mw/c㎡以上照度分布 80%以上


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